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Hier sind einige Ausscheidungen in in Si |
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Das nebenstehende kleine Bild zeigt eine nadelförmige FeSi2 Ausscheidung;
eine der "tödlichsten" Krankheiten von integrierten Schaltungen |
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Die beiden unteren Bilder zeigen Sauerstoffausscheidungen in Si, eine der
vielen Formen von SiO2. | |
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Das plättchenförmige SiO2 Teilchen paßt nicht so recht ins
Gitter; es "drückt" kräftig und produziert damit hohe lokale mechanische Spannungen. Das Si Gitter
reagiert darauf mit plastischer Verformung, d.h. es werden Versetzungen gebildet, die ins Gitter laufen und die Spannungen
abbauen. | |
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Das rechte Bild (Ausscheidung bei "A") zeigt, daß diese Versetzungsbildung
offenbar sehr regelmäßig ablaufen kann; wir sehen eine ganze Sequenz von Versetzungsringen. |
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© H. Föll (MaWi 1 Skript)
Mit Frame
4.1.6 Volumendefekte