Hier ist die reale Situation der Phosphordiffusion gezeigt - der Mechanismus des Eindringens der Phosphoratome in ein massives Gebilde, in dem eigentlich kein Platz ist.
Die Schemazeichnungen des Kristall sind aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht exakt: Eigentlich müßten sich die Kreise, die die Atome symbolisieren, berühren es paßt wirklich kein dickes Phosphoratom dazwischen.
Phosphor kann nur in den Kristall eindringen - Schritt für Schritt - falls ein Kristalldefekt, hier eine "Leerstelle" vorbeikommt.
Ob, und wie häufig das im Mittel passiert, regelt die statistische Thermodynamik (um den Schlüsselbegriff "Entropie").
Es gibt noch andere Mechanismen; im Link kann man das studieren und den Ablauf animiert anschauen.